Ιδιαίτερα αυτόματη CVD RDE 530L μηχανή επιστρώματος με δύο αίθουσες αντίδρασης

Ιδιαίτερα αυτόματος CVD RDE 530L φούρνος επιστρώματος με δύο αίθουσες αντίδρασης

1. Δυνάμεις εξοπλισμού

1.1 αυτόματος τρόπος. Σύμφωνα με τις τοποθετήσεις διαδικασίας, τα επιμέρους συστατικά και οι διαδικασίες ελέγχονται αυτόματα. Ο αυτόματος έλεγχος περιλαμβάνει το διακόπτη βαλβίδων, τον έλεγχο ροής αερίου διαδικασίας, τον υγρό έλεγχο ροής διαδικασίας, τον έλεγχο πίεσης αντιδραστήρων, το φούρνο θέρμανσης και τον ηλεκτρικό έλεγχο θερμοκρασίας ζωνών θέρμανσης, κ.λπ., χωρίς ανθρώπινη επέμβαση σε ολόκληρη τη διαδικασία. Η αυτόματη διαδικασία λειτουργίας πραγματοποιεί την αυτόματη επεξεργασία συναγερμών. Σύμφωνα με τους διαφορετικούς τύπους συναγερμών, θα εισαγάγει αυτόματα τον τρόπο συναγερμών για να προστατεύσει τα προϊόντα στο φούρνο. Αφότου απελευθερώνεται ο συναγερμός, μπορεί να αποκατασταθεί με το χέρι στο κράτος πριν από το συναγερμό.

1.2. Η διαδικασία ελέγχεται σε όλη τη διαδικασία, όλες τα στοιχεία αισθητήρων και η θέση βαλβίδων σώζονται στα ιστορικά στοιχεία, τα οποία μπορούν να αντιμετωπισθούν ανά πάσα στιγμή.

1.3. Χειρωνακτικός τρόπος. Υπάρχει μια συναρμολόγηση ασφάλειας, η οποία πραγματοποιεί αυτόματα την κλειδαριά σύμφωνα με τον τύπο και τη θερμοκρασία αερίου μέσα στον αντιδραστήρα, και τον αντιδραστήρα δεν μπορεί να ανοίξουν κατά βούληση. Ο χειρωνακτικός τρόπος τίθεται με τη λειτουργία ένας-κουμπιών, όπως το σκούπισμα με ηλεκτρική σκούπα, η εκκαθάριση Χ₂, η εκκαθάριση Ν2, κ.λπ., καμία ανάγκη να κινηθούν με το χέρι οι μεμονωμένες βαλβίδες και οι κενές αντλίες.

1.4. Το στοιχείο συναγερμών σώζεται αυτόματα, και τα ιστορικά στοιχεία μπορούν να ανακτηθούν ανά πάσα στιγμή.

2. Εργασιακό περιβάλλον εργοστασίων

2.1 περιβαλλοντικές υγρασία και θερμοκρασία

2.1.1 περιβαλλοντική υγρασία: <90>

2.1.2 περιβαλλοντική θερμοκρασία: 5℃~40℃

2.2 παροχή ηλεκτρικού ρεύματος

2.2.1 παροχή ηλεκτρικού ρεύματος: 380V±10%, 50Hz, τριφασικό σύστημα πέντε-καλωδίων

2.2.2 ελέγξτε την παροχή ηλεκτρικού ρεύματος: 210V~250V, 50Hz, ενιαία φάση

2.3 πηγή αέρα

2.3.1 πίεση συμπιεσμένου αέρα: 6-7bar,

2.3.2 πίεση του AR: 2-3bar,

2.3.3 πίεση και ροή Χ₂: 2-3bar, 0-75slm

2.3.4 πίεση και ροή Ν2: 2-3bar, 0-50slm

2.3.5 πίεση και ροή κοβαλτίου: 2-3bar, 0-2.5slm

2.3.6 πίεση και ροή του CO2: 2-3bar, 0-5slm

2.3.7 πίεση και ροή CH4: 2-3bar, 0-5slm

2.3.8 πίεση και ροή HCL: 2-3bar, 0-5slm

2.3.9 πίεση και ροή H2S: 2-3bar, 0-0.4slm

2.4 πηγή νερού

2.4.1 πίεση κολπίσκων νερού ψύξης: 2-3bar, το καθαρό νερό συστήνεται. Η θερμοκρασία είναι 13-16°C. (οι πελάτες πρέπει να εξοπλιστούν με το κατεψυγμένο νερό), ροή του νερού ψύξης, 5m3/h.

2.4.2 εφεδρική πηγή νερού έκτακτης ανάγκης (για να προετοιμαστεί από το χρήστη)

Πίεση: 1.5bar-2bar.